'삼성 필수불가결' ASML·아이멕, 하이 NA EUV 공동 연구소 개설...양산 체제 가속

하이 NA 장비 '트윈스캔 EXE:5000' 사전 이용 기회 제공
고객사 지원 강화해 생태계 구축…이르면 내년 대량 양산

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