[더구루=정예린 기자] 네덜란드 ASML가 차세대 극자외선(EUV) 노광 장비 '하이(High) NA' 첫 테스트 가동에 성공했다. 지속적인 성능 개선을 토대로 하이 NA를 최초 납품받은 고객사인 인텔의 장비 활용 시기도 앞당길 수 있을지 주목된다.
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