[더구루=오소영 기자] 삼성전자가 미국 반도체 장비 제조사인 램리서치의 협동 로봇 '덱스트로(Dextro)' 테스트를 수행한다. 유지보수를 최적화할 로봇 도입을 검토하고, '2030년까지 무인 공장' 체제를 구축에 속도를 낸다.

14일 업계에 따르면 삼성전자는 램리서치의 덱스트로를 시험한다. 테스트 결과를 토대로 실제 팹에 적용할지를 모색한다.

덱스트로는 웨이퍼 제조 장비의 유지보수 작업 최적화를 위해 설계된 업계 최초의 협동 로봇이다. 서브미크론(1㎛ 미만) 정밀도를 요구하는 중요한 유지보수 작업을 반복적으로 실시한다. 소모성 부품을 사람보다 두 배 높은 정확도로 조립하고, 볼트를 조이는 작업에서 발생할 오류율 5%를 해소하며, 자동 세척 기능도 갖췄다. 유지보수 속도가 빨라져 장비 다운타임을 줄이고, 운영 비용 절감에 기여한다. 생산 변동성을 최소화하고 수율을 향상시킬 수 있다는 게 램리서치의 설명이다.

삼성전자는 자동화를 넘어 사람이 필요없는 미래형 무인 공장 구축을 꾀하며 램리서치와도 손잡았다. 삼성전자 반도체 사업을 맡은 DS부문은 지난 6월 오토너머스 팹(Autonomous-Fab, 이하 A-팹) 태스크포스(TF)를 신설했다. 2030년까지 자사 제조공장을 무인화해 생산성과 품질 모두 잡는다는 포부다.

김영주 삼성전자 상무 겸 메모리 에치기술팀장은 "반도체 제조 장비에 유지보수가 필요한 경우, 장비 가동 중단 시간이 길어지고 비용 낭비가 발생하지 않도록 신속하고 효율적으로 작업해야 한다"고 밝혔다. 이어 "덱스트로의 오류 없는 유지보수는 공정 변동성과 수율 개선에 기여한다"며 "이는 삼성전자의 자율 반도체 공장(Autonomous Fab)을 향한 여정에서 흥미로운 이정표가 될 것이다"라고 덧붙였다.