전력 효율 10배 'BAT 레이저' 개발…EUV 대체 기술 핵심 '주목'

LLNL, BAT 레이저 프로토타입 개발…EUV 광 생성 시스템과 결합 테스트
차세대 반도체 제조 기술의 핵심으로 주목받는 EUV 대체 가능성 업계 주목

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