삼성전자 "하이-NA EUV, 비싼 만큼 투자 대비 효과 철저히 검토해야"

美 'SPIE 2024'서 'EUV의 미래' 주제로 심포지엄
1대 당 5000억원 호가하는 비용 등 다방면 검토 필요
'절반 가격' 로우-NA EUV 노광 장비 도입 제안도

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