ASML EUV 장비, 반도체 넘어 생명공학 분야 활용 가능성 입증

EUV로 의료용 나노포어 센서 칩 웨이퍼 제조 첫 실증
아이멕, 반도체 공정으로 분자 센서 양산 경로 제시

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