삼성전자, 이스라엘 노바와 차세대 메모리 반도체 계측 기술 개발

[더구루=정예린 기자] 삼성전자가 이스라엘 반도체 공정 솔루션 기업 '노바(Nova)'와 공동 개발한 차세대 메모리 반도체 계측 기술이 업계의 주목을 받고 있다. 한층 정밀해진 측정 방식으로 기존 공정의 한계를 극복, 삼성전자 수율 최적화와 품질 향상에 기여할 것으로 기대된다. 노바는 18일(현지시간) 삼성전자와 공동 집필한 '분광 간섭법, 라만 분광법, 하이브리드 머신러닝을 이용한 칼코제나이드 합금층의 온셀 두께 모니터링(On-Cell Thickness Monitoring of Chalcogenide Alloy Layer using Spectral Interferometry, Raman Spectroscopy, and Hybrid Machine Learning)'이라는 제목의 논문이 국제광공학회(SPIE) 주관으로 지난달 미국 캘리포니아주 산호세에서 열린 '첨단 리소그래피 + 패터닝(Advanced Lithography + Patterning)' 컨퍼런스에서 계측학 협업 부문 최우수 논문으로 선정됐다고 발표했다. 이 논문은 작년 4월 SPIE 학술지 '프로시딩스 오브 SPIE(Proceedings of SPIE)'를 통해 공개됐다. 삼성전자와 노바는 'SO

• 정예린 기자
• 2025-03-19 09:25