[더구루=오소영 기자] 대만 TSMC가 미국에 360억 달러(약 40조원)를 쏟아 6개 생산거점을 구축한다. 당초 계획보다 생산량을 5배 확대한 것이다. 파운드리 업계의 호황으로 투자를 늘리며 삼성전자와 증설 경쟁에 불이 붙었다. 3일 업계에 따르면 TSMC는 미국에 6개 공장을 세운다. 총투자비는 360억 달러로 월 10만장 규모의 반도체 웨이퍼를 생산한다. TSMC가 당초 밝힌 2만장보다 5배 큰 규모다. TSMC는 작년 5월 미국 애리조나주에 반도체 공장 건설 계획을 발표했다. 극자외선(EUV) 기반 5나노미터(nm·10억분의 1m) 기술로 2024년부터 반도체를 생산한다. 올해부터 2029년까지 120억 달러(약 13조원)가 투입된다. TSMC는 미국 진출을 선언한 후 설비 확장 의지를 내비쳤다. 류더인 TSMC 회장은 지난 1월 "미국 공장이 메가 사이트 규모로 발전하길 희망한다"고 밝혔었다. 미국 정부의 지원은 적극적이다. 애리조나주는 반도체 공장의 용수 공급을 보장하고 2억500만 달러(약 2300억원)를 지원하기로 했다. 물은 원재료인 웨이퍼를 자르고 부스러기를 씻어내며 각종 화학물을 제거하는 주요 공정에 활용된다. 반도체 집적도가 높아질수록

[더구루=정예린 기자] 중국 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체 SMIC가 미국으로부터 일부 장비 수입 허가를 받았다. 미국 제재에 대규모 증설 계획까지 차질을 빚고 있는 가운데 반도체 수급난 해결사 역할을 해낼 수 있을 지 주목된다. 3일 미국 반도체업계 전문 연구 기관 '세미컨덕터 리서치 코오퍼레이션(Semiconductor Research Corporation)'에 따르면 미국 상무부 등 관련 정부 기관은 현지 반도체 장비 제조업체가 SMIC에 14nm(나노미터) 이상 공정 장비 공급할 수 있도록 라이선스를 승인했다. SMIC는 이전에 14나노 웨이퍼에 사용되는 핵심 장비 승인을 신청했지만 받아들여지지 않았었다. SMIC는 "글로벌 산업 체인 파트너사와 지속적으로 협력해 회사의 생산 연속성을 보장하기 위해 최선을 다할 것"이라며 "(회사는) 줄곧 관련 법규에 따라 합법적으로 경영해 왔고, 단기간 내 생산에 차질이 없도록 할 것"이라고 공식 입장을 밝혔다. 이번 승인은 상대적으로 기술 수준이 낮은 14나노 공정에 한정됐기 때문에 이뤄진 것으로 보인다. 미국 상무부와 국방부는 지난해 12월 SMIC를 무역 블랙리스트에 올렸다. SMIC에 반도체 기술과 장