[영상] 日 연구진, '가성비' EUV 노광 장비 개발...ASML 독점 체제 깰까

 

[더구루=진유진 기자] 일본 오키나와 과학기술원(OIST) 연구진이 반도체 첨단 공정 구현을 위한 핵심 설비 극자외선(EUV) 노광 장비의 '가성비 모델'을 개발했습니다. 7일 OIST에 따르면 신타케 츠모루 물리학과 교수가 이끄는 연구팀은 ASML이 개발·제조한 것보다 저렴하면서도 간소화된 새로운 EUV 노광 장비 설계를 개발, 특허를 출원했습니다. 장비 대량 생산에 성공할 경우 칩 생산 비용을 획기적으로 낮출 수 있다는 설명입니다. 세계 유일 EUV 노광 장비 공급사인 네덜란드 ASML의 독점 체제를 깨고 반도체 산업에 새로운 바람을 불러일으킬지 이목이 집중됩니다. 자세한 내용은 더구루 홈페이지에서 만나보실 수 있습니다.

 

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日 연구진, '가성비' EUV 노광 장비 설계...ASML 독점 체제 깬다










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