[더구루=정등용 기자] 원익 그룹 투자 회사 원익투자파트너스가 영국 반도체 계측 솔루션 전문 업체 인피니티시마(Infinitesima)에 투자했다.
인피니티시마는 원익투자파트너스가 주도한 투자 라운드를 통해 신규 자금을 조달했다고 25일 밝혔다. 구체적인 투자 규모는 공개되지 않았다.
인피니티시마는 올해 4분기부터 메트론3D(Metron3D) 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템의 생산량을 늘리기 위해 이번 투자 라운드를 진행했다.
메트론3D 시스템은 업계 최고 수준의 모듈과 함께 인피니티시마가 독점 개발한 RPM(Rapid Probe Microscope) 기술을 탑재해 최대의 성능과 신뢰성을 제공한다.
이 시스템은 고급 반도체 공정의 완전 자동화 된 인라인 생산 공정 제어를 위해 설계됐다. 높은 처리량을 바탕으로 고해상도 3D 계측이 가능하다.
김동수 원익투자파트너스 대표는 “차세대 반도체 공정 제어 분야는 점점 고도화 하고 있다”면서 “인피니티시마는 이 같은 추세에 대응할 수 있는 독자적인 3D 계측 기술과 경험 많은 팀을 보유하고 있어 상당한 수준의 성장 기회가 있을 것으로 판단한다”고 말했다.
앤드류 딕슨 인피니티시마 회장은 “세계적인 반도체 제조사들을 대상으로 메트론3D를 제공 중인 가운데 원익투자파트너스를 공동 투자자이자 파트너로 맞아 기쁘게 생각한다”고 밝혔다.
인피니티시마는 반도체 업계용 첨단 계측 솔루션 분야의 선두 주자로 평가 받는다. 혁신적인 원자력 탐지 시스템인 RPM은 인피니티시마가 자체 개발한 핵심 기술이다.
RPM은 하이브리드 계측 및 검사 응용 분야나 통합 공정 제어를 위한 타사 장비를 통합하는 데 적합한 모듈로 설계됐다. 실제로 RPM 기술은 세계적인 반도체 장비 업체들이 도입해 활용하고 있다.
