[더구루=길소연 기자] 신기술 개발에 역량을 집결해온 일본 반도체업계가 저가형 신기술로 반도체 제조장비 시장을 선도한다. [유료기사코드] 17일 업계에 따르면 일본 반도체기업 키옥시와와 캐논, 다이니폰 프린팅(DNP), 후지필름 4개사가 도장을 찍는 것처럼 첨단 반도체 회로를 만드는 기술인 '나노임프린팅 리소그래피' 기법을 실용화하기 위해 협력한다. 이들 기업은 20년이 걸린 나노 임프린팅을 반도체 양산에 적용될 수 있을지 여부를 판단한다. 캐논은 나노 임프린팅 장비를, 인쇄회사인 다이니폰프린팅은 마스크 또는 템플릿으로 알려진 석영 회로 마스터를, 후지필름은 템플릿을 서로 눌러 회로 패턴을 만드는 데 사용되는 감광성 액체 수지(레지스트)를 담당한다. 캐논은 2000년대부터 거의 20년 동안 나노 임프린팅 개발에 참여해 왔다. 키옥시아는 캐논의 나노 임프린트 장비 개발을 도왔다. 나노임프린트는 EUV 보다는 파장이 길긴 하지만, 비용이 저렴해서 주목을 받는 노광 장비다. 노광공정 일부를 생략할 수 있어 EUV에 비해 공정 제조 비용 40%, 소비전력 90%를 절감할 수 있다. 제조공정에 나노임프린팅을 도입하면 고가의 일부 장치가 불필요하고, 설비 투자액도 줄여

[더구루=길소연 기자] 폴란드가 유럽연합(EU)에 첫 원자력 발전소 계획을 통보하며 자금 지원을 요청했다. 원전으로 에너지 안보와 탄소중립, EU 내 전략자산 확보를 동시에 추진중인 폴란드는 원전 건설 계획 통보로 국가 보조금을 얻어 프로젝트 실행의 문을 연다. [유료기사코드] 17일 업계에 따르면 폴란드 원전 사업 주체인 PEJ(Polskie Elektrownie Jądrowe)는 14일(현지시간) 유럽연합 집행위원회에 폴란드 최초의 원자력 발전소 건설을 위한 490억 달러(약 68조원) 규모의 투자를 검토해 줄 것을 요청했다. 폴란드는 발트해 연안 루비아토보-코팔리노에 3원자로 AP1000 발전소를 건설할 계획이다. 건설 계획 통보는 유럽원자력공동체인 유라톰 조약(Euratom Treaty)에 따라 건설허가를 받기 위한 필수 절차이다. EU 내 원자력 프로젝트는 유라톰 조약의 안전성·환경성·자원효율성 등의 기준에 부합해야 하며, 유럽집행위(EC)에 사전 통보와 검토 절차를 거쳐야 한다. EC 통보에는 △사업 목적 및 공공 지원 계획 △원자로 모델, 설계 일정, 안전 시스템 요건 △자본금 및 금융조달 구조 등이 포함된다. EC는 국가 지원금 승인과 규제 기