[더구루=정예린 기자] TSMC의 미국 애리조나 공장 착공이 임박했다. 이달 내 클린룸과 극자외선(EUV) 장비 주문을 완료하고 조만간 첫 삽을 뜬다. 내년 9월 셋업 후 2024년 대량 양산이 목표다.
6일 업계에 따르면 TSMC는 오는 15일(현지시간) 예정된 올해 2분기 실적발표 컨퍼런스콜 전 중국 한탕 시스템 인테그레이션(이하 한탕) 및 판슈안 시스템 테크놀로지(이하 판슈안)와 계약을 체결한다. 각각 클린룸과 EUV 장비 공급을 맡는다.
한탕과 판슈안은 계약이 마무리되는대로 애리조나주에 엔지니어를 파견할 계획이다. 한탕은 현지에서 200명의 직원도 추가 고용한다. <본보 2021년 4월 21일 참고 TSMC, 美 반도체 공장 윤곽 …하반기 착공·내년 9월 장비 도입>
클린룸과 EUV 공정은 반도체 제조 핵심이다. 클린룸은 반도체를 제조하는 양압시설로 한탕이 공급하는 장비는 미세먼지를 제어하는 반도체 품질 관리의 핵심이다. EUV 노광 공정은 반도체 미세공정화에 추세에 따라 주목받고 있다. 판슈안은 네덜란드 ASML의 EUV 노광 장비에 쓰이는 모듈 설비를 공급한다.
TSMC는 한탕과 판슈안 외에도 다른 협력업체들과의 계약을 빠른 시일 내에 완료하고 공장 건설에 착수한다는 방침이다.
TSMC는 지난해 애리조나주 공장 건설을 공식화했다. 120억 달러(약 13조5500억원)를 투입해 5나노미터(nm) 칩을 양산하는 생산시설을 짓는다. 생산능력은 웨이퍼 기준 월 2만장으로 2024년 완공 목표다. 애리조나주 피닉스시 북부에 대규모 부지를 매입하고 현지에 파견할 인력 1000명도 선발 중이다. 연봉 2배와 주택 제공 등 파격적인 혜택을 내걸었다.
일각에서는 TSMC가 애리조나주 공장에서 5나노에 이어 3나노까지 확대하기 위해 증설을 고려하고 있다는 추측이 나온다. 총 6곳의 생산시설을 구축하고 생산능력도 월 10만장 규모까지 늘린다는 것이다. 이는 최근 웨이 제지아 TSMC 최고경영자(CEO)가 향후 3년간 1000억 달러(약 113조500억원)를 투자해 2023년까지 차세대 공정 생산능력을 키우겠다고 밝힌 것과도 일맥상통한다.
