[더구루=정예린 기자] 일본 오키나와 과학기술원(OIST) 연구진이 반도체 첨단 공정 구현을 위한 핵심 설비 극자외선(EUV) 노광 장비의 '가성비 모델'을 개발했다. 세계 유일 EUV 노광 장비 공급사인 네덜란드 ASML의 독점 체제를 깨고 반도체 산업에 새로운 바람을 불러일으킬지 이목이 집중된다.
일본 오키나와 과학기술원 연구팀 발표
저렴하고 간소화된 EUV 노광 장비 설계 고안
'세계 유일 공급사' ASML 독점 체제 깨질까
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