[더구루=오소영 기자] 일본 후지필름이 경기 평택에 극자외선(EUV) 공정 원재료 생산량을 늘린다. 내년 10월까지 장비를 설치하고 품질 경쟁력도 강화한다. 첨단 반도체 수요 확대로 미세 공정에 필요한 원재료 수요가 늘면서 공격적인 투자를 이어오고 있다.
30일 업계에 따르면 후지필름은 경기 평택 공장에 EUV 레지스트와 현상액 생산능력을 확대하고 품질 평가를 강화한다. 내년 10월까지 새 클린룸을 설치하고 생산·검사 장비를 도입한다.
앞서 후지필름은 지난 6월 경기 평택시 오성 외국인투자전용지역에 국내 첫 컬러레지스트 공장을 준공하고 삼성전자를 비롯해 국내 고객사에 공급을 추진했다. 약 4개월 만에 추가 투자를 결정하며 한국 사업장을 키우고 있다.
EUV 레지스트는 EUV 노광장비를 활용해 반도체 웨이퍼에 미세한 회로를 새길 때 쓰이는 감광재다. EUV 현상액은 웨이퍼에 빛을 노출하는 노광 작업 이후 회로 모양이 깨끗하게 나타나도록 해주는 화학 용액이다. 두 재료는 5세대(5G)·6G, 인공지능(AI), 자율주행, 메타버스 등 첨단 기술의 확산으로 고성능 칩 수요가 높아지면서 덩달아 시장이 커지고 있다. 미세 공정 기반의 칩 생산이 늘며 EUV 레지스트 시장은 연간 약 20% 성장이 전망된다. 현상액 분야에서도 후지필름은 미세화의 한계를 극복할 NTI(Negative Tone Imaging) 제품을 개발해 반도체 시장의 주목을 받았다.
후지필름은 평택 공장을 증설해 국내 반도체 고객사의 수요에 대응한다. 삼성전자와 SK하이닉스는 미세 공정 시장을 주도하는 글로벌 기업이다. 삼성전자는 시스템 반도체 생산에 활용하던 EUV 공정을 2020년 D램에 처음 도입했다. SK하이닉스도 2021년부터 D램 생산에 EUV 기술을 접목했다. EUV 적용을 확대하며 후지필름은 평택 공장에 추가 투자를 결정한 것으로 보인다.
후지필름은 한국뿐만 아니라 일본에서도 투자를 진행한다. 내년 10월까지 시즈오카 공장에 EUV 레지스트 생산·검사 장비를 추가로 설치할 예정이다.
