[더구루=정예린 기자] 키옥시아가 일본 스타트업 'PeS(포토 일렉트론 소울·Photo electron Soul)', 나고야대학교와 손잡고 차세대 반도체 검사 기술 도입을 추진한다. 3D 낸드플래시 생산 과정에서 불량률을 줄이고 수율을 개선, 글로벌 메모리 시장에서 경쟁 우위를 확보할 것으로 전망된다.

4일 키옥시아에 따르면 회사는 이달 말 이와테현 기타카미 공장에서 PeS와 나고야대 아마노-혼다 연구실이 공동 개발한 질화갈륨(GaN) 기반 전자빔(e-Beam) 검사·계측 기술을 실제 생산라인에서 테스트할 예정이다. 최첨단 3D 낸드 생산 과정에 적용해 결함 검출 능력과 생산 효율 향상 효과를 검증할 계획이다.

GaN 기반 전자빔 검사·계측 기술을 활용하면 고층 구조를 가진 3D 낸드 내부 결함도 비접촉 방식으로 정밀하게 검사할 수 있다. 기존 방식으로는 접근이 어려운 깊은 영역까지 측정이 가능하며, 전자빔의 세기와 위치를 실시간으로 제어해 정확도를 높인다. 또 '선택적 전자빔 조사(DSeB)'와 '수율 제어 전자빔(YCeB)' 기술을 적용해 불필요한 조사로 인한 오류를 최소화한다. GaN 기반 전자빔 검사·계측 기술은 현재 다른 장비 공급업체에서 상용화하지 않은 첨단 솔루션이라는 게 회사측 설명이다. 

키옥시아는 그동안 자체적으로 검사·계측 기술을 개발해왔지만, 최근 PeS와 나고야대 연구실의 기술이 기존 대비 우수할 가능성이 높다고 판단하고 도입을 검토 중이다. 실제 생산라인 테스트에서 안정성과 효과가 입증되면 결함 최소화와 수율 개선, 고밀도 3D 낸드 생산 경쟁력 강화라는 직접적 이점을 얻을 수 있다. 특히 이번 기술을 통해 기존에는 어려웠던 고층 구조 내부까지 검사할 수 있게 되면서 생산 효율과 품질 관리 수준이 동시에 향상될 것으로 기대된다. 

PeS는 2015년 나고야대가 설립한 스타트업이다. 세계에서 유일하게 산업용 반도체 광전자 전자빔 시스템을 공급한다. 30년 이상 나고야대가 축적한 기술을 바탕으로 다양한 산업에서 혁신적인 검사·계측 솔루션을 제공하며, 전자기기, 생명과학, 엔지니어링 분야 등 폭넓은 산업 혁신을 선도하는 것을 목표로 한다.

스즈키 타카유키 PeS 최고경영자(CEO)는 "키옥시아의 이번 테스트는 당사의 검사·계측 기술이 타의 추종을 불허한다는 것을 입증할 수 있는 좋은 기회"라며 "이 기술이 키옥시아의 핵심 기술이 돼 첨단 검사·계측 역량을 크게 향상시키고 키옥시아가 한국과 미국의 경쟁 낸드 생산업체를 능가하는 데 기여할 것이라고 확신한다"고 밝혔다.