[더구루=오소영 기자] 삼성전자와 인텔이 미국 과학자를 상대로 제기한 반도체 특허 무효 심판에서 무효 판정을 받아내며 승기를 잡았다.
16일 업계에 따르면 미국 특허심판원은 지난달 30일(현지시간) 다니엘 엘 플램(Daniel L Flamm) 박사의 특허가 무효하다고 결론을 내렸다. 삼성전자와 인텔의 요청으로 무효 심판이 진행된지 약 4년 만이다.
쟁점이 된 특허는 웨이퍼(원판)에 불필요한 부분을 깎아내는 삭각 공정에 관한 특허 1건(RE40264)이다. 해당 특허는 삭각 공정에서 웨이퍼의 가열과 냉각 시간을 제어하는 방법을 담고 있다.
특허심판원은 다니엘 엘 플램의 특허가 이전에 존재하던 기술과 크게 다르지 않다고 판단했다. 신규성과 진보성이 결여돼 특허가 무효하다고 판정한 것이다.
특허심판원의 판결로 삼성전자와 인텔은 특허 침해 혐의를 벗게 됐다. 양측의 공방은 2015년부터 시작됐다. 다니엘 엘 플램은 2015년 7월 삼성전자와 삼성전자 미국법인, 삼성반도체, 오스틴 반도체 생산법인을 특허 침해 혐의로 텍사스서부지방법원에 제소했다. 이듬해 3월 인텔에 같은 소송을 걸었다.
인텔은 2016년 12월 무효 소송을 내고 먼저 반격했다. 삼성전자가 2017년 9월 합류하면서 무효 소송이 본격적으로 진행됐다.
한편, 다니엘 엘 플램은 미국 매사추세츠공대(MIT) 공대에서 화학공학 석·박사를 마친 과학자이자 변리사다. 삼성전자와 인텔뿐 아니라 마이크론, 글로벌파운드리와도 특허 소송을 진행했었다.
