中, ASML 대체재 찾았다…캐논 'NIL 노광기' 대안 부상

네덜란드 ASML의 EUV 대안 모색
캐논, YMTC·SMIC·BOE 등과 거래 경험

 

[더구루=오소영 기자] 중국이 일본 캐논의 노광장비를 수입해 미국의 반도체 수출 통제를 뚫는다. 네덜란드 ASML로부터 극자외선(EUV) 장비를 받지 못해 미세 공정 구현에 차질을 빚자 대체 파트너로 캐논과 협력을 강화하고 있다.


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