[더구루=오소영 기자] 러시아가 X선 노광장비 개발에 90억원 이상 투입한다. 네덜란드 ASML이 독점하고 있는 EUV 장비보다 성능이 우수한 장비를 상용화해 반도체 시장에서 서방에 내준 주도권을 가져가려는 행보로 분석된다.
X선 노광장비 개발에 6.7억 루블 지원
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